Qhov Zoo Ntawm Kev Xaiv Lub Nqus Pump Yuav Xav Kom Zoo

1. Lub siab ua hauj lwm ntawm lub tshuab nqus tsev twj yuav tsum ua raws li lub tshuab nqus tsev thiab kev ua haujlwm siab ntawm cov khoom siv lub tshuab nqus tsev. Piv txwv, yog tias lub tshuab nqus tsev qhuav yuav tsum tau muaj kev xoom qhaub ntawm 10 mmHg, qhov nqus tsev ntawm lub tshuab nqus tsev nqus cov twj yuav tsum yog yam tsawg 2 hliHg, dua li 1 hliHg. Lub tshuab nqus tsev qhov kawg ntawm lub twj tso kua mis feem ntau yog xaiv los ua ib nrab ntawm qhov siab tshaj qhov nqus ntawm lub tshuab nqus tsev.

2. Ua tib zoo xaiv qhov chaw ua haujlwm ntawm lub tshuab nqus tsev. Txhua lub twj tso tawm muaj ntau yam kev ua haujlwm, xws li: 2BV series dej ntiv nplhaib nqus cov twj ua hauj lwm siab siab txog 760mmHg ~ 25mmHg (meej siab), nyob rau hauv xws li lub siab tshaj plaws, lub twj siv lub zog ceev nrawm nrog hloov siab (saib lub twj kom pom tseeb ) Qhov kev ua tau zoo), nws txoj haujlwm khov kho siab khov yog 760 ~ 60mmHg. Yog li, qhov chaw ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis yuav tsum raug xaiv nyob rau hauv qhov ntau yam, thiab nws yuav tsum tsis pub ua hauj lwm ntev ntev thaum 25 ~ 30mmHg.

3. Raws li kev ua hauj lwm siab, lub tshuab nqus tsev vacuum yuav tsum tshem tag nrho cov roj generated thaum lub sij hawm siv cov khoom nqus tsev.

4. Muab cov khoom nqus tsev sib xyaw ua ke. Vim tias lub tshuab nqus tsev nqus tau xaiv, siv qee zaus cov twj yuav tsis tuaj yeem ua raws li qhov yuav tsum tau siv, thiab ntau lub twj yuav tsum tau sib xyaw ua ke kom sib haum sib raws li qhov yuav tsum tau ua. Piv txwv li, ib lub tshuab raj titanium sublimation muaj lub siab siv ceev ceev rau hydrogen, tiam sis nws tsis tuaj yeem raug pumped, thiab ib qho kev sib tshuam uas muaj peb-ncej roj hmab (lossis ob-pole asymmetric cathode sputtering ion twj tso kua mis) muaj ib qho kev ceev ntiag tug ceev rau argon. Thaum ua ke, lub tshuab nqus tsev vacuum yuav muaj lub zoo nqus. Tsis tas li, qee lub tshuab nqus tsev ua haujlwm tsis tuaj yeem ua haujlwm nyob rau hauv lub siab, thiab xav tau cov khoom ua ntej; qee lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis yog qhov qis tshaj qhov muaj zog atmospheric, thiab yuav tsum tau siv lub tshuab twj paj nruag, yog li nws yuav tsum tau muab cov twj tso ua ke.

5. Yuav tsum muaj cov pa phem ntawm lub tshuab nqus tsev. Yog tias cov khoom yuav tsum tsis muaj roj, koj yuav tsum xaiv ntau hom roj dawb, xws li: lub taub rhaub dej, lub tshuab fais fab rau lub cev, cov kua nplaum rau ntawm cov kua qaub, cov paj taub, thiab lwm yam. Yog tias qhov kev txwv tsis nruj heev, koj tuaj yeem xaiv kom muaj roj twj, ntxiv rau qee cov roj qias tuaj yeem, xws li muab cov ntxiab txias, baffles, roj ntxiab, thiab lwm yam.

6. Nkag siab txog cov pa roj carbon monoxide pumped. Cov pa roj muaj tsis muaj cua sov, tsis muaj hmoov av, thiab tsis muaj corrosiveness. Thaum xaiv lub tshuab nqus tsev twj, koj yuav tsum paub cov roj muaj pes tsawg leeg thiab xaiv cov twj uas tsim nyog rau cov pa roj pum. Yog tias cov roj muaj vapors, particulates, thiab corrosive gases, xav txog kev siv cov cuab yeej pab xws li condensers, plua plav luaj li cas, thiab lwm yam ntxiv rau hauv cov kav dej ntawm lub twj.

7. Cov roj pum dej tawm ntawm lub tshuab nqus tsev li cas rau thaj chaw? Yog hais tias qhov chaw tsis tso cai, koj tuaj yeem xaiv lub tshuab nqus tsev tsis muaj roj los yog tshem tawm cov roj pa tawm mus sab nraud.

8. Lub zog generated thaum lub tshuab nqus tsev ua haujlwm tsis muaj kev cuam tshuam rau ntawm tus txheej txheem thiab ib puag ncig. Yog tias tus txheej txheem tsis pub, xaiv ib lub twj tsis muaj zog-dawb los yog siv cov tshuaj tiv thaiv.

9. Tus nqi, kev khiav lag luam thiab txij nkawm tus nqi ntawm lub tshuab nqus tsev twj.